首要的偏移量差錯:因為壓力傳感器在整個壓力范圍內(nèi)垂直偏移堅持穩(wěn)定,因此變換器分散和激光調(diào)理批改的改變將發(fā)生偏移量差錯。
其次是靈敏度差錯:發(fā)生差錯大小與壓力成正比。如果設(shè)備的靈敏度高于典型值,靈敏度差錯將是壓力的遞增函數(shù)。如果靈敏度低于典型值,那么靈敏度差錯將是壓力的遞減函數(shù)。該差錯的發(fā)生原因在于分散過程的改變。
第三是線性差錯:這是一個對壓力傳感器初始差錯影響較小的因素,該差錯的發(fā)生原因在于硅片的物理非線性,但對于帶放大器的傳感器,還應(yīng)包括放大器的非線性。線性差錯曲線可所以凹形曲線,也可所以凸形曲線稱重傳感器。
zui后是滯后差錯:在大多數(shù)景象中,壓力傳感器的滯后差錯完全能夠忽略不計,因為硅片具有很高的機械剛度。一般只需在壓力改變很大的景象中考慮滯后差錯。
壓力傳感器的這個四個差錯是無法避免的,咱們只能選擇高精度的生產(chǎn)設(shè)備,使用高新技術(shù)來下降這些差錯,還能夠在出廠的時候進行一定的差錯校準,盡zui大的可能來下降差錯以滿足客戶的需要。