技術(shù)
電阻式壓力測(cè)量(陶瓷厚膜和金屬薄膜技術(shù))
在陶瓷厚膜和金屬薄膜技術(shù)中,將四個(gè)電阻互連形成一個(gè)惠斯通電橋。在隔膜中央,電阻在加壓作用下程度地延伸,而在邊緣區(qū)域,電阻經(jīng)受的應(yīng)變應(yīng)力。對(duì)于陶瓷和薄膜元件,測(cè)量隔膜同時(shí)也用于隔離介質(zhì)。無需內(nèi)部液體傳遞介質(zhì)。
壓阻式壓力測(cè)量(硅半導(dǎo)體)
針對(duì)半導(dǎo)體材料根據(jù)晶體結(jié)構(gòu)內(nèi)可變的電子自由度得出特殊電阻的變化,進(jìn)而得出信號(hào)變化。電子自由度受機(jī)械負(fù)荷的影響。通過一層不銹鋼隔膜(外罩)將易損的硅芯片與過程介質(zhì)分隔開。針對(duì)內(nèi)部壓力傳遞,使用石蠟油或硅油作為液體傳遞介質(zhì)(視應(yīng)用而定)。
壓力傳感器的功能
壓力傳感器主要采用兩種測(cè)量原理:
壓阻式壓力測(cè)量
電阻式壓力測(cè)量
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