1、溫度性能穩(wěn)定

電容式傳感器的電容值一般與電池材料無關，這有助于挑選溫度指數(shù)低材料，又因自身發(fā)燙很小，影響穩(wěn)定性甚微。而電阻感應器有銅損，易發(fā)燙產(chǎn)生零漂。

2、結(jié)構(gòu)緊湊

電感式傳感器結(jié)構(gòu)緊湊，便于生產(chǎn)和確保強的精度，可以做得非常小巧，以實現(xiàn)某些特殊的測量;能工作在高溫，強輻射及磁場等惡劣的環(huán)境中，能夠承受很大的溫度轉(zhuǎn)變，承擔高壓力，高沖擊，負載等;能測量超高溫和低壓差，也能對帶磁工作開展測量。

3、動態(tài)回應好

電感式傳感器因為帶電極板間的靜電引力很小(約幾個10^(-5)N)，需要的功效動能很小，又因為它的移動部分可以做得很小很薄，即品質(zhì)很輕，所以其原有頻率很高，動態(tài)響應速度短，能在幾兆赫茲的頻率下工作，尤其適用于動態(tài)測量。又由于其介電損耗小可以用較高頻供電，因此系統(tǒng)工作頻率高。它可用以測量高速轉(zhuǎn)變參數(shù)值。

4、能夠非接觸測量且靈敏度高

可非接觸測量回轉(zhuǎn)軸的振動或偏心率、小型滾動軸承的徑向間隙等。當采用非接觸測量時，電容式傳感器具備均值效用，可以減小工件外表粗糙度對測量的影響。